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分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵，這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。由于國內(nèi)磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚，將磁軸承技術(shù)應用到實際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識到這一問題后，公司以此為科技攻關(guān)點，經(jīng)過多年的不懈努力，磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對復合分子泵的工作原理，研發(fā)出了適合復合分子泵用的磁懸浮高速電機，很后將兩者結(jié)合起來，成功研發(fā)出國內(nèi)生產(chǎn)的磁懸浮復合分子泵，并探索實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。
9、對顆粒物或沉積物敏感； 10、噪音與振動； 11、破碎問題； 12、暴露大氣易引起事故； 綜上所述，渦輪分子泵的特點很多，但是隨著我國機械、、電子、化工等領域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研，同時也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點的進一步研究，相信在未來是個值得突破的課題。
愛發(fā)科分子泵, 磁懸浮分子泵應用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹，在半導體生產(chǎn)線、真空鍍膜生產(chǎn)線、汽車后視鏡鍍膜生產(chǎn)線等領域都有著廣闊的市場前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無摩擦、、高精度、長壽命、低噪音、無油污等突出優(yōu)點，一旦實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，將成為能源、節(jié)能減排、真空機械等重大戰(zhàn)略領域的技術(shù)。
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分子泵使用中有哪些注意事項？2.一文了解分子泵在半導體行業(yè)的應用3.如何科學地獲得超高真空？4.國際熱核聚變試驗堆（ITER）的真空結(jié)構(gòu)5.一千多臺樣泵用于各項測試，僅選很優(yōu)方案，揭秘新型分子泵測試方法；真空聚焦真空行業(yè)新媒體平臺：渦輪分子泵應用于質(zhì)譜系統(tǒng)分子泵應用于緊湊型質(zhì)譜系統(tǒng)。
質(zhì)譜分析是指與質(zhì)譜分析相結(jié)合的一種核分析技術(shù),用于實現(xiàn)同位素比值的測定.需要清潔無油的高真空環(huán)境,一般采用干泵配備渦輪分子泵實現(xiàn)高真空環(huán)境.質(zhì)譜系統(tǒng)需要分子泵抽真空原因:1.電子加速運動的需要;2.電子正常工作的需要;3.加速管微波電場的需要(避免加速管中出現(xiàn)微波打火,必須抽到高真空). 中科院某大型科技工程項目,工程的主體建筑是三大:一臺150MeV（1.5億電子伏特）的電子直線、一臺能在0.5秒內(nèi)把電子束能量從150MeV提升到3.5GeV（35億電子伏特）的量增強器，以及一臺周長432米的3.5GeV電子儲存環(huán)，
經(jīng)過技術(shù)推薦，成功采購愛發(fā)科渦輪分子泵和干泵，渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉(zhuǎn)速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.
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脈沖激光沉積系統(tǒng)PLD客戶案例：某大學電信系脈沖激光沉積系統(tǒng)
1.系統(tǒng)功能：主要用于Mn氧化物等復雜材料膜。
2.渦輪分子泵真空度要求:真空度
3.樣品尺寸:6英寸
4.基片旋轉(zhuǎn),加熱溫度：750℃
5.膜生長控制模式:鍍率/厚度/時間控制模式
真空系統(tǒng)配置:超高真空系統(tǒng)配置:渦輪分子泵400
接口:DN100CF-F
極限真空:
氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80
接口:DN63CF-F
氮氣壓縮比:>1X1011隔膜泵MVP040
口徑:G1/4”
極限真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉(zhuǎn)速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>
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